超快激光納米連接及其在微納器件互連中的應用
演講課題:超快激光納米連接及其在微納器件互連中的應用
演講人:鄒貴生
演講摘要:
納米連接是焊接與連接學科的新興方向,涉及納-納、納-微、納-宏、納-微-宏跨尺度的材料連接,包括納米尺度材料的互連和用具有納米特征的材料連接其它材料/元器件兩個方向,在微納電子元器件及其系統、微/納光機電系統、醫療器械等封裝制造中起到越來越重要的作用。基于超快激光制造的納米連接是其重要發展方向,本報告重點介紹納米顆粒、納米線的超快激光輻照同質或異質互連及其在新型微納原理器件高性能制造中的應用,以及基于超快激光納米顆粒薄膜沉積的低溫燒結連接新原理新技術及其功率器件高服役性能封裝應用。