超快激光納米連接及其在微納器件互連中的應(yīng)用
演講課題:超快激光納米連接及其在微納器件互連中的應(yīng)用
演講人:鄒貴生
演講摘要:
納米連接是焊接與連接學(xué)科的新興方向,涉及納-納、納-微、納-宏、納-微-宏跨尺度的材料連接,包括納米尺度材料的互連和用具有納米特征的材料連接其它材料/元器件兩個(gè)方向,在微納電子元器件及其系統(tǒng)、微/納光機(jī)電系統(tǒng)、醫(yī)療器械等封裝制造中起到越來越重要的作用。基于超快激光制造的納米連接是其重要發(fā)展方向,本報(bào)告重點(diǎn)介紹納米顆粒、納米線的超快激光輻照同質(zhì)或異質(zhì)互連及其在新型微納原理器件高性能制造中的應(yīng)用,以及基于超快激光納米顆粒薄膜沉積的低溫?zé)Y(jié)連接新原理新技術(shù)及其功率器件高服役性能封裝應(yīng)用。